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廣東富信科技股份有限公司研發(fā)、生產(chǎn)經(jīng)營半導(dǎo)體熱電材料、熱電組件、熱電系統(tǒng)、半導(dǎo)體熱電技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)品(半導(dǎo)體制冷/制熱產(chǎn)品),熱電轉(zhuǎn)換能源類產(chǎn)品,電子產(chǎn)品及其配件,半導(dǎo)體熱電技術(shù)服務(wù)及輸出。
此項目為十萬級半導(dǎo)體無塵車間:
一、設(shè)計原則:
1.合理投資:符合經(jīng)濟(jì)節(jié)約的原則,又滿足各生產(chǎn)車間的工藝要求及對溫度、濕度、潔凈度、壓差、照度、抗震及噪聲等潔凈環(huán)境的要求;
2.經(jīng)濟(jì)運行:考慮節(jié)約能源、運行可靠、維護(hù)簡單,減少運行及維護(hù)費用;
3.安全可靠:潔凈車間級別高、投入大、運行費用昂貴,因此給生產(chǎn)提供安全可靠的生產(chǎn)環(huán)境是至關(guān)重要的,要考慮到工藝的更新;
4.技術(shù)先進(jìn):采用先進(jìn)的技術(shù)及工藝可以更好的達(dá)到要求及更好的適應(yīng)生產(chǎn)的需要,也有利于節(jié)約能源;
5.靈活性:要考慮系統(tǒng)的工藝變更等因素對系統(tǒng)進(jìn)行靈活的調(diào)整。
二、凈化原理:
潔凈度的實現(xiàn)是通過布置在車間上的FFU高效過濾送風(fēng)單元過濾,足夠的換氣次數(shù)來實現(xiàn)的,新風(fēng)采用初效過濾后送入車間。
另外為保證潔凈室不被外界污染,潔凈車間要維護(hù)一定的正壓,其相對非凈化區(qū)的靜壓差≥10Pa,正壓是通過控制新風(fēng)的供給量來保證的。
三、空調(diào)風(fēng)系統(tǒng):
潔凈車間的空氣循環(huán)是通過設(shè)置在吊頂內(nèi)的空調(diào)機(jī)+末端FFU高效送風(fēng)單元完成的。其氣流組織采用上送下側(cè)回。風(fēng)系統(tǒng)只設(shè)回風(fēng)管,回風(fēng)管通過室內(nèi)回風(fēng)豎井將室內(nèi)空氣輸送至FFU回風(fēng)口來實現(xiàn)回風(fēng)。
四、新風(fēng)系統(tǒng):
新風(fēng)由設(shè)置在天花上FFU完成,新風(fēng)是經(jīng)過初效過濾處理后送入凈化車間的,初過濾器裝于FFU進(jìn)風(fēng)口。
設(shè)計部分圖紙:
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